Die WF6 word hoofsaaklik as 'n grondstof vir die chemiese dampafsettingsproses (CVD) van metaalwolfram in die elektroniese industrie gebruik. WSi2 gemaak van WF6 kan as 'n bedradingsmateriaal in grootskaalse geïntegreerde stroombane (LSI) gebruik word, en kan ook as 'n grondstof vir halfgeleierelektrodes, fluoorgrondstowwe vir chemiese middels, polimerisasiekatalisators, optiese materiale, ens. gebruik word.